ドーム式照明は、落射照明の一種であり、様々な方向から間接光を試料に当てる方法で、試料を照らし出すタイプの照明装置のことを言います。

柔らかい間接光で試料を照らすため、リング照明に比べてハレーションが発生しやすい物を観察するのに向いている照明方法と言え、ねじ山などの凹凸のある対象を観察したい場合に適しています。

さらに、試料の表面を均一に照らすことができるため、検出したいポイントを見つけやすくすることができます。