顕微鏡の中で、「探針」と呼ばれる器具を使って観察対象となる物質の表面を観察するタイプのものを走査型プローブ顕微鏡と呼びます。
光学顕微鏡に比べて空間分解能が高く、一定の条件が揃えば原子・分子レベルの分解能を発揮すること、また電子顕微鏡に比べて小型であることが特徴です。
表面を観察するために、微小電流を利用する「走査型トンネル顕微鏡(STM)」や原子間力を利用して観察する「原子間力顕微鏡(AFM)」、パルス電圧を使って静電気力を調べる「静電気力顕微鏡」などの様々なものがあり、用途に応じて観察方法を使い分けることになります。