走査型近接場光顕微鏡は1928年にイギリスで考案され、1984年には実用的なモデルが開発され、その後の発展を遂げてきました。
試料に金属箔蒸着などの操作を行わず、非破壊的に観察できることなどのメリットがありますが、走査型トンネル顕微鏡に比べて分解能が劣ってしまうことは事実です。
現在では走査型近接場光顕微鏡を原型として、フォトン走査型トンネル顕微鏡や、無開口近接場顕微鏡、反射モード近接場光走査顕微鏡などの様々な顕微鏡が開発されています。