【原子間力顕微鏡(AFM)】

原子間力顕微鏡(AFM)は、探針と観察対象である試料の間に働く原子間力を検出することで、試料を観察する仕組みの走査型プローブ顕微鏡の一種です。

走査型トンネル顕微鏡はトンネル電流を利用して試料を観察するため、絶縁性の試料は観察することができませんが、原子間力を利用するAFMは絶縁性試料を観察することもできます。

またコンタクトモードとノンコンタクトモードを選択することができるので、試料を傷つけずに観察することも可能です。