オプションソフト
3D計測OP OP-170805
Z電動ステージとの組み合わせにより、簡単操作で自動画像取り込みから3D表示することができます。3D表示では、表面形状をさまざまな角度から観察できるほか、任意のラインのプロファイル計測、ポイント高さ計測、粗さ計測（Ra、Rz、Rzjis等）、体積・表面積・断面積計測などの各種計測や、高さカラー表示、ワイヤーフレーム表示などが可能です。測定結果は、CSVファイルに保存できるほか、Excelへの一発転送が可能ですので、レポートの作成が瞬時にできます。さらに、画像連結（XYZ）、XY電動ステージとの組み合わせにより、ZおよびXY電動ステージの移動と撮影を繰り返しながら、広視野の3Dデータを取得します。画像連結で広視野画像を取得するだけでなく、対象物の全体形状を把握できます。また、任意のラインのプロファイル計測などの各種計測も可能です。
レンズアダプタ
拡散照明アダプタ OP-170301 ※Z25M/Z60M/Z35M/Z35DM専用
照明を均一に拡散させることで、対象物のハレーションやぎらつきを抑え、表面状態をよりリアルに観察しやすくします。
偏光照明アダプタ（ヘッド用/側射用/同軸落射用） OP-161104
偏光照明アダプタ（ヘッド用/側射用/透過照明用） OP-161104
偏光された光を照射し、90度異なる角度の偏光フィルタを通して受光することで、正反射した光のみをカットすることができます。これにより、透明フィルムやコーティング越しの対象物の観察時に、ぎらつきを抑え、表面状態をより観察しやすくします。
接触アダプタ OP-150902 ※Z25M/Z60M専用
ズームレンズの先端に装着することで、レンズをスタンドに固定せず、ハンドヘルド（片手持ち）で直接対象物に接触させて観察できます。対象物が大きく、スタンドのステージに載せたり、移動させることができない対象物などの観察に有効です。